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錸
名 稱：四氟化鈦
分子式：TiF4
分子量：123.87
CAS號：7783-63-3
白色吸濕性粉末
關鍵字：<四氟化鈦>、<氟化物_>、<電子化學品>
用于成膜材料及離子注人摻雜。在微電子工業上用于化學氣體沉積，以制作低電阻、高熔點的互連線等
檢驗報告
品名
四氟化鈦
CAS:7783-63-3
性狀
化學式
TiF4
純度:
測試項目
測試結果
含量
≥98.5%
≤0.15%
氟硅酸鹽
0.2%
鐵
0.1%
硫酸鹽
重金屬
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